基于MOEMS技术的一种F-P光开关的设计与制作

• 作者: 刘理天 吴霁虹 徐杨 董良 陈兢
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: F-P腔 光开关 MOEMS
• 年，卷（期）: 2002,（8）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 840-845
• 页数: 6页
• 分类号: TN223
• 字数: 3395字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2002.08.011

摘要

研制了一种用于WDM光通信系统的多层介质膜Fabry-Perot腔结构式光开关,面积为1.5mm×1.5mm.光开关采用多层复合膜消除内应力,防止产生过度变形;中心的十字复合梁有利于提高机械灵敏度,降低驱动电压.体硅腐蚀出的硅杯既减小了光开关的插损,又便于端面输入输出光纤的精确对准与固定,有效降低封装成本.制成的开关转换电压为20V,关态隔离度为87%,开态插损为0.15dB.其结构和工艺简单,易于与IC工艺相结合形成规模生产,如增加膜的层数便能制成基于F-P干涉仪结构的滤波器.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董良	清华大学微电子学研究所	21	87	5.0	8.0
2	刘理天	清华大学微电子学研究所	230	1519	19.0	23.0
3	陈兢	清华大学微电子学研究所	7	54	4.0	7.0
4	吴霁虹	清华大学微电子学研究所	2	10	1.0	2.0
5	徐杨	清华大学微电子学研究所	3	20	3.0	3.0