电容传感器在高温条件下的研究应用

• 作者: 张铫 戚淑梅
• 来源期刊: 玻璃
• 关键词: 锡槽 在线气相镀膜 电容式位移传感器 耐高温 精确测量
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 20-21
• 页数: 2页
• 字数: 1892字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-1987.2002.03.005

摘要

本文在综述电容传感器的工作原理、结构特点以及灵敏度的基础上，提出一种结构新颖，性能独特的电容式位移传感器装置，它能够对在线化学气相镀膜反应器喷嘴底面与玻璃板之间的距离进行高精度的实时监测。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	戚淑梅		11	12	2.0	3.0
2	张铫		1	3	1.0	1.0