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常温下脉冲激光沉积氮化硼薄膜研究
常温下脉冲激光沉积氮化硼薄膜研究
作者:
张灿云
杨国伟
王金斌
钟向丽
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
脉冲激光沉积
室温
立方氮化硼
爆炸结构氮化硼
摘要:
由于氮化硼特别是立方氮化硼(c-BN)的独特性质和广泛的应用前景,一直受到材料研究工作者的广泛关注.本研究利用脉冲激光在室温下沉积出立方氮化硼薄膜,傅立叶变换红外光谱和X射线衍射分析表明在所制备的氮化硼薄膜中,立方相的含量很高;同时,该研究还观察到了氮化硼的另一种高压相-爆炸结构氮化硼(Explosive-BN,E-BN).本研究同时还讨论了氮化硼薄膜生长的原理.
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脉冲激光沉积系统
GaN材料
薄膜材料
沉积温度
沉积气压
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文献信息
篇名
常温下脉冲激光沉积氮化硼薄膜研究
来源期刊
人工晶体学报
学科
物理学
关键词
脉冲激光沉积
室温
立方氮化硼
爆炸结构氮化硼
年,卷(期)
2002,(5)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
436-439
页数
4页
分类号
O484.1
字数
2306字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1000-985X.2002.05.003
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
王金斌
湘潭大学材料与光电物理学院
37
88
5.0
8.0
2
杨国伟
湘潭大学材料与光电物理学院
28
144
6.0
11.0
3
钟向丽
湘潭大学材料与光电物理学院
25
30
3.0
5.0
4
张灿云
湘潭大学材料与光电物理学院
3
12
2.0
3.0
传播情况
被引次数趋势
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引文网络
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同被引文献
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(0)
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参考文献(1)
二级参考文献(0)
1991(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
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参考文献(1)
二级参考文献(0)
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参考文献(1)
二级参考文献(0)
1997(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
1999(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2000(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2002(0)
参考文献(0)
二级参考文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)
2005(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
2006(1)
引证文献(1)
二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
脉冲激光沉积
室温
立方氮化硼
爆炸结构氮化硼
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
人工晶体学报
主办单位:
中材人工晶体研究院有限公司
出版周期:
月刊
ISSN:
1000-985X
CN:
11-2637/O7
开本:
16开
出版地:
北京朝阳区红松园1号中材人工晶体研究院,北京733信箱
邮发代号:
创刊时间:
1972
语种:
chi
出版文献量(篇)
7423
总下载数(次)
16
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
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