新一代IC-CAM系统中的质量管理

• 作者: 向采兰 曾莹 朱小琳 林发永
• 来源期刊: 微电子学与计算机
• 关键词: 集成电路 计算机辅助制造 质量控制
• 年，卷（期）: 2002,（10）
• 所属期刊栏目: 微电子技术
• 页码范围: 41-43,72
• 页数: 4页
• 分类号: TP391.7
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7180.2002.10.013

摘要

文章介绍了新一代集成电路计算机辅助制造(IC-CAM)系统质量管理部分的设计.该系统的质量控制部分实现了由实测数据计算控制图的控制限,能自动判读并标识控制图中的异常点.使用该IC-CAM系统后,可以有效地提高生产工艺稳定性和产品质量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾莹	清华大学微电子学研究所	6	25	4.0	5.0
2	向采兰	清华大学微电子学研究所	18	35	4.0	5.0
3	朱小琳	清华大学微电子学研究所	2	2	1.0	1.0
4	林发永	清华大学微电子学研究所	1	0	0.0	0.0