Φ105 mm区熔硅单晶的生长工艺研究

• 作者: 郭立洲
• 来源期刊: 稀有金属
• 学科: 工学
• 关键词: FZ硅单晶 加热线圈 夹持装置 生长工艺
• 年，卷（期）: 2002,（6）
• 所属期刊栏目: 研究快报
• 页码范围: 513-516
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.053
• 字数: 1878字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0258-7076.2002.06.022

摘要

介绍了FZ硅单晶的熔区悬浮原理, 说明了生产Φ105 mm FZ硅单晶所用多晶原材料的技术标准, 通过对不同形式的加热线圈进行分析, 指出了较理想的加热线圈, 讨论了反射器和改进后的晶体夹持装置的具体应用.对Φ105 mm FZ硅单晶的关键生长工艺进行了描述.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭立洲		2	12	2.0	2.0