真空镀膜机的原理及故障分析

• 作者: 王存华 陈敏
• 来源期刊: 光电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 真空镀膜 高压电源 维修
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 所属期刊栏目: 设备与维修
• 页码范围: 114-118
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.8
• 字数: 3189字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-488X.2002.02.013

摘要

真空镀膜设备是电子工业元器件生产和研制过程中广泛使用的设备,本文就DMF-700电子束真空镀膜设备在实际工作中出现的主要故障进行分析,并给出故障排查的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王存华		2	15	2.0	2.0
2	陈敏		8	66	4.0	8.0