ITO涂敷镀膜材料

• 作者: 马志宏
• 来源期刊: 中国玻璃
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 所属期刊栏目: 国外技术
• 页码范围: 42-43,35
• 页数: 3页
• 语种: 中文

摘要

1．前言 向氧化铟添加氧化锡的ITO(Indium Tin Oxide)薄膜具有较高的透明性和导电性,由于其容易制成电路,所以被广泛用作显示器等的电极材料.目前ITO薄膜一般采用真空蒸镀法和溅射法镀膜.但是,这些方法需要大型且高价的镀膜装置,因此非常需要开发兼顾成本率的镀膜工艺.……