射频溅射法制作Y2O2S∶Eu发光薄膜

• 作者: 成建波 李军建 祁康成
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: Y2O2S∶Eu 发光薄膜 射频溅射 钇铝石榴石
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 202-204
• 页数: 3页
• 分类号: TB383
• 字数: 2036字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2002.03.010

摘要

在钇铝石榴石单晶基片上用射频溅射法制取了Y2O2S∶Eu红色发光薄膜.利用正交试验法,对溅射气体(Ar+H2S)中H2S浓度、退火气氛中SO2与H2的比例、退火温度和退火时间等工艺条件进行了优化试验.给出了实验结果并对其进行了讨论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	成建波		53	414	11.0	16.0
2	祁康成		65	340	10.0	14.0
3	李军建		20	119	6.0	10.0