利用LIGA技术制作过滤介质

• 作者: 伊福廷 张菊芳 彭良强 蒋毅坚 韩勇 黄军容
• 来源期刊: 过滤与分离
• 学科: 工学
• 关键词: 过滤介质 LIGA技术 制作
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 所属期刊栏目: 基金项目
• 页码范围: 11-13
• 页数: 3页
• 分类号: TQ051.8+5|TN305.7
• 字数: 1799字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-8265.2002.04.004

摘要

LIGA技术具有加工精度高,深宽比大,表面平整,应用领域广等优点,是一种先进的微细加工方法.将LIGA技术的这些优点充分用于过滤介质的制作中,能改善过滤介质的力学强度、机械性能、流阻大小、可再生性等过滤性能.实验中,通过选用不同的材料、适当调整工艺步骤、以及结合微细电火花加工方法等,分别制作出了胶结构、镍结构、不锈钢、以及金结构等多组材料不同、过滤孔隙形状、大小各异的过滤介质,能满足多种不同过滤场合的需求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋毅坚	北京工业大学国家产学研激光技术中心	100	628	12.0	21.0
2	彭良强	中国科学院高能物理研究所	24	141	7.0	11.0
3	张菊芳	中国科学院高能物理研究所	21	136	6.0	11.0
4	黄军容	中国科学院高能物理研究所	6	43	3.0	6.0
6	韩勇	中国科学院高能物理研究所	67	1000	16.0	30.0
7	伊福廷	中国科学院高能物理研究所	38	150	6.0	10.0