利用图像处理实现平面工作台三自由度位移的同步检测

• 作者: 吴鹰飞 周兆英
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 位移测量 图像处理 CCD相机 平面工作台 同步检测
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 所属期刊栏目: 全息与图像处理
• 页码范围: 326-328,331
• 页数: 4页
• 分类号: TH741.1|TH741.2
• 字数: 3330字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-1582.2002.04.031

摘要

为了实现平面工作台三自由度位移的同步检测,研制了图像处理位移检测系统.以CCD相机为核心,结合显微镜放大、图像采集和图像处理构成检测系统.图像处理软件用VC编制,计算并绘制了工作台三自由度位移随时间的变化关系,以及工作台在平面内的运动轨迹.系统的位移检测不受工作台大幅转动的影响.检测系统达到了亚像素级的位移分辨率.选择合适的显微镜放大倍率,可使检测系统既有较高的位移分辨率,又有一定的位移检测范围.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周兆英	清华大学精密仪器与机械学系	205	3706	31.0	54.0
2	吴鹰飞	清华大学精密仪器与机械学系	13	924	9.0	13.0