金刚石膜的制备和高取向生长

• 作者: 孙超 汪爱英 闻立时 黄荣芳
• 来源期刊: 炭素技术
• 学科: 化学
• 关键词: 化学气相沉积 金刚石膜 合成技术 高取向
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 综合述评
• 页码范围: 34-41
• 页数: 8页
• 分类号: O613.71|TB383
• 字数: 7503字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3741.2002.01.008

摘要

金刚石膜是最近世界上研究最广泛的材料之一.在本文中,简要介绍了低压化学气相沉积金刚石薄膜的合成技术及高取向生长,并对存在的一些问题进行了分析和讨论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙超	中国科学院金属研究所	126	1708	23.0	34.0
2	汪爱英	中国科学院金属研究所	33	206	9.0	13.0
3	黄荣芳	中国科学院金属研究所	37	704	16.0	25.0
4	闻立时	中国科学院金属研究所	117	1859	24.0	36.0