PZT薄膜的研究进展

• 作者: 刘常升 尚丽娟 张滨 陈岁元 陈菊芳
• 来源期刊: 材料与冶金学报
• 学科: 工学
• 关键词: 压电性 钙钛矿结构 热电性 烧绿石 外延生长 PZT薄膜
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 所属期刊栏目: 综合评述
• 页码范围: 83-86,135
• 页数: 5页
• 分类号: TB43
• 字数: 4183字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-6620.2002.02.001

摘要

综述了PZT薄膜的制备方法,从电极、微观结构和化学成分、生长方向、多层膜结构以及机械应力对性能的影响五个方面介绍了PZT薄膜的研究进展.提出了PZT薄膜存在的主要问题和发展方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈岁元	东北大学材料与冶金学院	78	762	17.0	24.0
2	刘常升	东北大学材料与冶金学院	252	2803	27.0	39.0
3	尚丽娟	东北大学材料与冶金学院	23	168	6.0	12.0
7	张滨	东北大学材料与冶金学院	19	167	7.0	12.0
8	陈菊芳	东北大学材料与冶金学院	2	21	1.0	2.0