微机械自润滑材料的摩擦性能研究

• 作者: 刘刚 张鹏 田扬超
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: Ni-MoS2 LIGA MEMS 微摩擦
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 66-70
• 页数: 5页
• 分类号: TH117
• 字数: 2844字
• 语种: 中文

摘要

研究了Ni-MoS2自润滑层在不同工艺条件下的结构特征、形貌,并分析其摩擦特性,发现润滑层表面粗糙度和厚度对摩擦系数影响较大;即使MoS2含量较少,Ni-MoS2复合镀层的极限剪切模量也比金属Ni降低很多.这为LIGA技术制造自润滑MEMS器件提供了有益的参考,并提供低MoS2含量的Ni-MoS2复合材料的一些基本性质.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张鹏	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	220	1605	21.0	32.0
2	刘刚	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	207	2369	24.0	40.0
3	田扬超	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	50	372	12.0	17.0