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摘要:
环形磁化系统(TOMAS)是一个简单的磁化环,它用微波产生的等离子体来研究壁处理方法。在TOMAS装置中,电子回旋共振等离子体是用频率为2.45GHz的微波和相应的共振磁场为87.6mT产生的。本文描述该装置和用甲烷等离子体膜沉积的第一次运行经验。
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文献信息
篇名 TOMAS—用于研究未来聚变装置壁处理的环形磁化等离子体装置
来源期刊 国外核聚变 学科 工学
关键词 ECR等离子体 壁处理 聚变装置 微波 TOMAS 甲烷等离子体膜沉积 环形磁化等离子体装置
年,卷(期) 2002,(5) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 47-52
页数 6页 分类号 TL621
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研究主题发展历程
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ECR等离子体
壁处理
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微波
TOMAS
甲烷等离子体膜沉积
环形磁化等离子体装置
研究起点
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相关学者/机构
期刊影响力
国外核聚变
双月刊
四川省成都市432信箱
出版文献量(篇)
728
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