二维抗反射亚波长周期结构光栅的设计分析

• 作者: 卢振武 孙强 张慧娟 曹召良 李凤友
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 抗反射 亚波长 占空比 反射率 表面面形
• 年，卷（期）: 2002,（6）
• 所属期刊栏目: 物理光学
• 页码范围: 537-541
• 页数: 5页
• 分类号: O436.1
• 字数: 2598字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2002.06.001

摘要

利用严格耦合波理论(RCWA)和等效介质理论(EMT)研究了二维抗反射亚波长周期结构光栅的设计问题.以立方体和柱状单台阶网格光栅和金字塔形及圆锥形多台阶光栅为例,主要研究了占空比和表面面形对反射率的影响.通过计算发现,当光栅周期足够小的时候,光栅面形对反射率没有影响,同时占空比严重影响着光栅的特性,这对设计制造抗反射光栅非常有用.同时也研究了等效介质理论的适用性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢振武	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	93	1154	21.0	28.0
2	曹召良	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	26	254	10.0	15.0
3	李凤友	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	7	136	5.0	7.0
4	张慧娟		1	0	0.0	0.0
5	孙强		2	39	1.0	2.0