充入气体含水量对超高真空系统排气特性的影响

• 作者: 山本显弘 殷立新
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 超高真空 吸附 排气
• 年，卷（期）: 2002,（5）
• 所属期刊栏目: 应用拓展
• 页码范围: 46-49
• 页数: 4页
• 分类号: TB751
• 字数: 2754字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2002.05.010

摘要

在未烘烤的超高真空系统中,真空室表面所吸附的水蒸汽是影响排气时间及极限真空度的关键因素.通过实验,对充入气体中水蒸汽含量及操作方式与真空系统排气特性的关系进行了测试,为超高真空系统操作工艺的确定提供了依据.