钨钴硬质合金电化学蚀刻加工研究

• 作者: 吉华 王伟 田间
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电化学蚀刻 光致抗蚀剂 钨钴硬质合金
• 年，卷（期）: 2002,（5）
• 所属期刊栏目: 工艺研究
• 页码范围: 32-33,36
• 页数: 3页
• 分类号: TG178
• 字数: 1516字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3660.2002.05.012

摘要

对YG6硬质合金电化学蚀刻工艺进行了研究,提出了采用光致抗蚀剂作保护膜,在生成一定钝化膜的情况下进行电化学蚀刻的方法.在一定的蚀刻深度范围内,该工艺的可控性好、腐蚀区表面质量较好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王伟	四川大学化工机械系	133	383	9.0	12.0
2	田间	四川大学化工机械系	15	40	4.0	5.0
3	吉华	四川大学化工机械系	52	277	9.0	14.0