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甲烷浓度对金刚石膜表面形貌及其热导率的影响
甲烷浓度对金刚石膜表面形貌及其热导率的影响
作者:
代明江
刘正义
周克崧
宋进兵
戴达煌
瞿全炎
原文服务方:
材料研究与应用
甲烷
金刚石膜
表面形貌
热导率
摘要:
以甲烷为碳源气体,用直流等离子射流法制备了金刚石膜.研究了不同甲烷浓度对金刚石膜的表面形貌和热导率的影响.结果表明,在甲烷浓度φ(CH4)为1.5%时,可以获得较高热导率的金刚石膜.
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内容分析
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版权信息
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期刊文献
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
文献信息
篇名
甲烷浓度对金刚石膜表面形貌及其热导率的影响
来源期刊
材料研究与应用
学科
关键词
甲烷
金刚石膜
表面形貌
热导率
年,卷(期)
2002,(1)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
17-20
页数
4页
分类号
O484.1
字数
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1673-9981.2002.01.005
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
刘正义
91
1225
21.0
32.0
2
周克崧
广州有色金属研究院材料表面工程技术研究开发中心
48
796
18.0
26.0
3
宋进兵
广州有色金属研究院材料表面工程技术研究开发中心
25
306
10.0
17.0
4
代明江
广州有色金属研究院材料表面工程技术研究开发中心
52
458
13.0
18.0
5
戴达煌
广州有色金属研究院材料表面工程技术研究开发中心
7
38
4.0
6.0
6
瞿全炎
5
25
3.0
5.0
传播情况
被引次数趋势
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版权信息
全文
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二级参考文献
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节点文献
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(1)
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二级引证文献
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1993(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
1997(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2001(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2002(0)
参考文献(0)
二级参考文献(0)
引证文献(0)
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2016(1)
引证文献(0)
二级引证文献(1)
2020(1)
引证文献(0)
二级引证文献(1)
研究主题发展历程
节点文献
甲烷
金刚石膜
表面形貌
热导率
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
材料研究与应用
主办单位:
广东省科学院新材料研究所
出版周期:
季刊
ISSN:
1673-9981
CN:
44-1638/TG
开本:
大16开
出版地:
广东省广州市天河区长兴路363号广东省科学院科技创新园综合楼3楼
邮发代号:
创刊时间:
1991-01-01
语种:
中文
出版文献量(篇)
1697
总下载数(次)
0
总被引数(次)
8602
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