甲烷浓度对金刚石膜表面形貌及其热导率的影响

• 作者: 代明江 刘正义 周克崧 宋进兵 戴达煌 瞿全炎
• 来源期刊: 材料研究与应用
• 关键词: 甲烷 金刚石膜 表面形貌 热导率
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 页码范围: 17-20
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-9981.2002.01.005

摘要

以甲烷为碳源气体,用直流等离子射流法制备了金刚石膜.研究了不同甲烷浓度对金刚石膜的表面形貌和热导率的影响.结果表明,在甲烷浓度φ(CH4)为1.5%时,可以获得较高热导率的金刚石膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘正义		91	1225	21.0	32.0
2	周克崧	广州有色金属研究院材料表面工程技术研究开发中心	48	796	18.0	26.0
3	宋进兵	广州有色金属研究院材料表面工程技术研究开发中心	25	306	10.0	17.0
4	代明江	广州有色金属研究院材料表面工程技术研究开发中心	52	458	13.0	18.0
5	戴达煌	广州有色金属研究院材料表面工程技术研究开发中心	7	38	4.0	6.0
6	瞿全炎		5	25	3.0	5.0