纳米金刚石膜——一种新的具有广阔应用前景的CVD金刚石

• 作者: 侯立 刘尔凯 玄真武 韩毅松
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 纳米金刚石 化学气相沉积 CVD金刚石
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 页码范围: 158-163
• 页数: 6页
• 分类号: O484
• 字数: 3356字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2002.02.019

摘要

以氢气为主要反应气体生长的CVD金刚石膜的晶粒尺寸过大限制了它在某些领域的进一步应用.当晶粒组成降到纳米级时,金刚石膜会表现出许多优异的性能,具有广阔的应用前景.与通常的CVD法生长金刚石的工艺不同,氩气在纳米金刚石的生长过程中发挥着重要作用.纳米金刚石的鉴定和评价是纳米金刚石研究中的重要部分.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	玄真武		13	123	5.0	11.0
2	刘尔凯		4	55	2.0	4.0
3	韩毅松		4	88	4.0	4.0
4	侯立		1	34	1.0	1.0