外延Ba1-xSrxTiO3薄膜的Sol-Gel法制备及其电性能研究

• 作者: 杨向荣 王玮 章天金
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 铁电薄膜 Ba1-xSrxTiO3 外延生长 电性能
• 年，卷（期）: 2002,（5）
• 所属期刊栏目: 单晶、薄膜及其他功能材料
• 页码范围: 395-397
• 页数: 3页
• 分类号: TN304
• 字数: 2009字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2002.05.018

摘要

以Ba(CH3COO)2、Sr(CH3COO)2和Ti(OC4H9)4为原料,以乙二醇甲醚为溶剂、冰乙酸为催化剂,应用溶胶-凝胶技术在Pt/MgO(100)衬底上成功地制备了处延生长Ba0.65Sr0.35TiO3薄膜.XRD和SEM分析结果表明,该薄膜在O2气氛中650 °C热处理1 h后,其(001)面是沿着Pt(100)和MgO(100)面外延取向生长的,其平均晶粒大小为48.5 nm.电性能测试结果表明,当测试频率为10 kHz时,其介电常数和损耗因子分别为480和0.02.电滞回线测试结果表明,外延生长Ba0.65Sr0.35TiO3薄膜的剩余极化为2.8 μC/cm2,其矫顽场为52 kV/cm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	章天金	湖北大学物理学与电子技术学院	82	321	11.0	14.0
2	王玮	湖北大学物理学与电子技术学院	8	57	3.0	7.0
3	杨向荣	湖北大学物理学与电子技术学院	12	135	6.0	11.0