带内孔平面多边形的并算法

• 作者: 薛虹 陈建辉
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 多边形 并运算 版图切割 电子束曝光机
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 电子束技术
• 页码范围: 28-32,39
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.7|TP301.6
• 字数: 3645字
• 语种: 中文

摘要

电子束曝光机版图切割过程中可能出现带内孔的多边形,并且多边形内环与外环之间可能发生重叠.针对这种多边形,提出了新的基于矢量边的重复交点处理方法,并在此基础上给出了一个强健的多边形并算法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈建辉	中科院电工研究所	1	4	1.0	1.0
2	薛虹	中科院电工研究所	4	9	2.0	3.0