无油机械真空泵及其应用

• 作者: 关奎之 刘春姐 张世伟 徐成海
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 真空泵 无油
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 63-67
• 页数: 5页
• 分类号: TB752
• 字数: 2875字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2002.04.013

摘要

综述了适合于电子行业用的无油机械真空泵的种类,介绍几种无油机械真空泵的结构、性能、特点和存在的问题,以及对泵的选择和应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐成海	东北大学机械工程与自动化学院	133	1297	21.0	27.0
2	张世伟	东北大学机械工程与自动化学院	68	567	14.0	19.0
3	刘春姐	东北大学机械工程与自动化学院	5	94	5.0	5.0
4	关奎之	东北大学机械工程与自动化学院	4	71	4.0	4.0