多晶硅锭的制备及其形貌组织的研究

• 作者: 刘秋娣 林喜斌 林安中
• 来源期刊: 稀有金属
• 学科: 工学
• 关键词: 定向凝固 多晶硅锭 显微缺陷
• 年，卷（期）: 2002,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 416-419
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.1
• 字数: 2810字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0258-7076.2002.06.002

摘要

研究了采用定向凝固法制备多晶硅锭的凝固速率与表面形貌、晶粒尺寸以及显微组织缺陷的关系. 找出了晶锭不出现细晶的临界生长速度, 并对固液界面形状进行了探讨. 多晶硅锭的制备工艺主要包括定向凝固法及浇铸法. 采用定向凝固法制备多晶硅锭, 通过改变降埚速率控制晶体生长速度, 进而找出晶粒大小与降埚速率的关系; 同时通过改变石英坩埚、石墨托厚度, 冷源半径等几何参数来达到控制固-液界面形状的目的.