多层复合真空离子镀膜技术的新发展

• 作者: 张再鸣 李然 王增福 范斌 陈步亮
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 多功能 离子镀 多层镀
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 真空镀膜专辑
• 页码范围: 10-12
• 页数: 3页
• 分类号: TB43
• 字数: 1832字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2002.03.002

摘要

本文回顾了多弧--磁控溅射多功能离子镀膜设备的结构和功能,并且对该设备在氮化钛掺金离子镀(IPG)方面的典型应用,做了较为详细的膜层性能分析.同时,本文又对近年来一种新型的多功能离子镀设备--复合式离子镀膜设备的结构及特点做了介绍,给出了该类型设备的典型应用场合,并且向读者介绍了使用该设备镀制的金属/金属陶瓷多层膜的优异性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈步亮		2	16	2.0	2.0
2	王增福		11	11	1.0	3.0
3	范斌		1	11	1.0	1.0
4	张再鸣		1	11	1.0	1.0
5	李然		1	11	1.0	1.0