不稳定液体基底上溅射金属Ag薄膜的非平衡生长

• 作者: 冯春木 叶高翔 李亦宁 焦正宽
• 来源期刊: 低温物理学报
• 学科: 物理学
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 页码范围: 74-80
• 页数: 7页
• 分类号: O51
• 字数: 3263字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-3258.2002.01.014

摘要

本文研究了不稳定液体基底上溅射金属薄膜的非平衡生长现象.实验发现:此类薄膜的生长速率不再是常数,与基底温度、表面覆盖率密切相关;薄膜的表面形貌受到了基底温度、溅射功率、固体-液体界面性质等因素的复杂影响.分析表明:生长界面的表面张力及其各向异性对薄膜生长过程起着重要的作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李亦宁	嘉兴学院医学院	11	27	3.0	5.0
2	焦正宽	浙江大学物理系	35	172	6.0	12.0
3	叶高翔	浙江大学物理系	36	160	7.0	9.0
4	冯春木	浙江大学物理系	7	15	2.0	3.0