基于现场总线的硅片处理系统计算机监控系统

• 作者: 王小军
• 来源期刊: 机电一体化
• 学科: 工学
• 关键词: 现场总线 CAN总线 计算机监控系统
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 新技术·新产品
• 页码范围: 57-59
• 页数: 3页
• 分类号: TP27
• 字数: 2252字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-080X.2002.03.015

摘要

硅片处理系统对系统运行的可靠性、可维护性、易操作性要求较高.本文提出了一种基于CAN总线的硅片处理系统的计算机监控系统,介绍了系统的工作原理、硬件结构和软件流程.实际应用表明,该系统能够实时监视硅片处理系统的运行状况,准确地对硅片处理系统的运行进行控制,同时能够及时发现故障、快速处理各种故障等,提高了硅片处理系统的可靠性和运行效率,具有良好的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王小军	陕西工学院机电工程系	1	0	0.0	0.0