有机衬底SnO2∶Sb透明导电膜的研究

• 作者: 张德恒 徐现刚 郝晓涛 马洪磊 马瑾
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 有机衬底 SnO2∶Sb膜 磁控溅射
• 年，卷（期）: 2002,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 599-603
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.2+1
• 字数: 2585字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2002.06.008

摘要

采用射频磁控溅射法在有机薄膜衬底上制备出SnO2∶Sb透明导电膜,并对薄膜的结构和光电特性以及制备参数对薄膜性能的影响进行了研究.制备的样品为多晶薄膜,并且保持了纯二氧化锡的金红石结构.SnO2∶Sb薄膜中Sb2O3的最佳掺杂比例为6%.适当调节制备参数,可以获得在可见光范围内平均透过率大于85%的有机衬底SnO2∶Sb透明导电薄膜,其电阻率～3.7×10-3Ω·cm,载流子浓度～1.55×1020cm-3,霍耳迁移率～13cm2·V-1·s-1.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马瑾	山东大学物理与微电子学院光电材料与器件研究所	44	495	13.0	20.0
2	马洪磊	山东大学物理与微电子学院光电材料与器件研究所	58	681	15.0	23.0
3	徐现刚	山东大学晶体材料国家重点实验室	77	407	10.0	16.0
4	张德恒	山东大学物理与微电子学院光电材料与器件研究所	18	450	12.0	18.0
5	郝晓涛	山东大学物理与微电子学院光电材料与器件研究所	12	158	7.0	12.0