氮化钽薄膜局部腐蚀早期过程的原位研究

• 作者: 俞春福 徐久军 黑祖昆
• 来源期刊: 材料保护
• 学科: 工学
• 关键词: 氮化钽薄膜 ECAFM 腐蚀 原位
• 年，卷（期）: 2002,（5）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 16-18
• 页数: 3页
• 分类号: TG172.9
• 字数: 3116字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-1560.2002.05.006

摘要

利用离子束增强沉积(IBED)技术在1Cr18Ni9Ti奥氏体不锈钢上制备了TaN薄膜,并通过电化学原子力显微镜(ECAFM)对TaN薄膜在NaCl溶液中的腐蚀早期过程进行了原位研究,重点观察了微观缺陷处的腐蚀状况.结果表明,在TaN薄膜的腐蚀早期阶段,腐蚀并非从缺陷处开始,反而在有坑的位置形成更厚的钝化膜,表现出较好的整平性,从而缓解了腐蚀进程.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黑祖昆	大连海事大学材料工艺研究所	33	503	8.0	22.0
2	徐久军	大连海事大学材料工艺研究所	110	674	12.0	20.0
3	俞春福	大连海事大学材料工艺研究所	3	28	2.0	3.0