二十一世纪的纳米硅电子技术

• 作者: 张天明
• 来源期刊: 山东电子
• 学科: 工学
• 关键词: 硅电子 纳米 信息技术
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 发展与综述
• 页码范围: 13-14
• 页数: 2页
• 分类号: TN3
• 字数: 2268字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-9528.2002.03.011

摘要

装置技术为适应电子市场的需求而发展,纳米硅电子技术伴随着电子信息产业的发展应运而生;本文综述了纳米硅电子技术的产生、现状及未来的发展趋势;并分析了纳米硅电子技术与信息产业发展的关系.