高压玻璃钝化管芯新型工艺

• 作者: 庄明虔 邵成和
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 玻璃钝化:切割 刮胶 光刻上玻璃胶
• 年，卷（期）: 2002,（8）
• 所属期刊栏目: 管芯设计
• 页码范围: 64-66
• 页数: 3页
• 分类号: TN305
• 字数: 2859字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2002.08.019

摘要

针对玻璃钝化二极管管芯制造过程中的晶片弯曲及切割速度慢等问题,设计开发了一种新型的制造工艺,为大批量生产创造了条件.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	庄明虔		1	0	0.0	0.0
2	邵成和		1	0	0.0	0.0