成膜参数对TiN-MoS2/Ti复合薄膜摩擦学性能的影响

• 作者: 周兰英 庞思勤 荆阳 钟生东
• 来源期刊: 兵工学报
• 学科: 工学
• 关键词: TiN-MoS2/Ti复合涂层 切削性能 非平衡纳米复合等离子体镀膜技术 XPS测试
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 实验技术与分析
• 页码范围: 395-398
• 页数: 4页
• 分类号: TG115.23|TG115.5+8
• 字数: 2771字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-1093.2002.03.028

摘要

本研究利用钻削、切削实验及XPS测试等手段考察了非平衡纳米复合等离子体镀膜技术中成膜参数对TiN-MoS2/Ti复合涂层的摩擦学性能及其理化性能的影响.实验发现靶距、沉积气压及Ti添加剂含量等参数的变化对复合涂层的成分和性能产生了明显的作用.结果表明,通过调整选择合适的工艺参数,可以得到较高耐磨寿命的TiN-MoS2/Ti复合涂层.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周兰英	北京理工大学机械工程及自动化学院	26	335	11.0	18.0
2	庞思勤	北京理工大学机械工程及自动化学院	98	746	16.0	23.0
3	钟生东	北京理工大学光电工程系	9	268	6.0	9.0
4	荆阳	北京理工大学机械工程及自动化学院	6	17	2.0	4.0