直流辉光化学气相沉积金刚石的成核密度研究

• 作者: 杨洁 金恩姬 高春晓
• 来源期刊: 北京石油化工学院学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 金刚石 成核密度 衬底材料
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 页码范围: 50-53
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1
• 字数: 2215字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-2565.2002.01.013

摘要

利用直流辉光等离子体化学气相沉积金刚石的装置,研究了衬底材料以及表面状态对金刚石薄膜成核密度的影响,结果表明金刚石薄膜的成核密度与衬底材料的结合能、晶格常数、对碳的吸附能力及其表面状态有着密切的关系,具有较高结合能和对碳具有较强吸附能力的衬底材料有利于金刚石薄膜的成核.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高春晓	吉林大学物理学院	23	25	4.0	4.0
2	金恩姬	北京石油化工学院数理部	5	11	2.0	3.0
3	杨洁		6	6	2.0	2.0