集成铁电学工艺的研究

• 作者: 李岩 苏学军
• 来源期刊: 海军航空工程学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 铁电性 极化强度 快速退火 介电常数
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 页码范围: 480-482
• 页数: 3页
• 分类号: TB383
• 字数: 2880字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-1522.2002.04.024

摘要

介绍集成铁电学的内容及发展,研究快速退火工艺对钛酸铋铁电薄膜铁电性、剩余极化强度、介电常数、绝缘性和介电损耗的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李岩	海军航空工程学院自动控制系	68	252	9.0	11.0
2	苏学军	海军航空工程学院基础部	63	269	10.0	13.0