底面对准曝光中的对准技术研究

• 作者: 刘业异 姚汉民 胡松 陈兴俊
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻机 底面对准 工件台 对准标记
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 光子束技术
• 页码范围: 36-39
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 2556字
• 语种: 中文

摘要

主要论述了底面对准光刻机的对准原理、工件台结构以及对准标记的形式和尺寸的选择.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡松	中国科学院光电技术研究所	93	705	12.0	24.0
2	姚汉民	中国科学院光电技术研究所	44	355	9.0	16.0
3	陈兴俊	中国科学院光电技术研究所	6	42	4.0	6.0
4	刘业异	中国科学院光电技术研究所	13	173	7.0	13.0