油扩散泵的现状及发展

• 作者: 李殿东
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 油扩散泵 极限压力 抽气速率 临界前级压力 泵液返流率
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 1-6
• 页数: 6页
• 分类号: TB752+.42
• 字数: 6894字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2002.04.001

摘要

对国内外油扩散泵的主要性能及现状作了比较,初步分析出存在的差距,提出了今后泵的发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李殿东		10	69	5.0	8.0