离子注入GaN的拉曼散射研究

• 作者: 应丽贞 张纪才 戴伦 秦国刚 赵新生
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: GaN 离子注入 拉曼散射 局域振动
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:结构、热学和力学性质
• 页码范围: 629-634
• 页数: 6页
• 分类号: O4
• 字数: 3991字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2002.03.032

摘要

研究了离子注入前后GaN的拉曼散射光谱,特别是其中几个在各种离子注入后都存在的拉曼散射峰,如298,362和661cm-1峰的性质,峰值强度随注入元素原子量、注入剂量和退火温度的变化关系.上述三个拉曼散射峰的强度都随注入元素原子量的增加而降低.当注入剂量增大时,362和661cm-1峰值强度减少,而298cm-1峰值强度却增大.随退火温度的升高,这三个拉曼散射峰的强度先增加后降低.对所观察到的实验现象和这三个峰的起源进行了分析和讨论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	秦国刚	北京大学物理学院	20	128	6.0	10.0
2	赵新生	北京大学分子动态与稳态结构国家重点实验室化学与分子工程学院物理化学研究所	39	171	8.0	10.0
3	戴伦	北京大学人工微结构与介观物理国家重点实验室	6	9	2.0	2.0
4	应丽贞	北京大学分子动态与稳态结构国家重点实验室化学与分子工程学院物理化学研究所	2	6	2.0	2.0
5	张纪才	山东曲阜师范大学物理系	1	4	1.0	1.0