MEMS螺线管型电感器正负胶结合的加工工艺

• 作者: 吴茂松 杨春生 茅昕辉 蔡炳初 赵小林
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 电感器 SU-8 微加工
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 53-57
• 页数: 5页
• 分类号: TM55
• 字数: 2439字
• 语种: 中文

摘要

MEMS螺线管型电感器由于具有很多优点,其用途或潜在用途相当广泛.为了获得高质量的MEMS螺线管型电感器,在充分利用SU-8特点的基础上,结合使用正胶AZ-4000系列和负胶SU-8系列,新开发了UV-LIGA多层微加工工艺,它主要包括:在基片上溅射Cr/Cu作为电镀种子层,涂布正胶,紫外光刻得到电镀模具,电镀Cu和FeNi分别得到线圈的下层、中层和上层以及铁芯;在完成下层和中层后,分别进行一次负胶工艺以形成电绝缘层和后续结构的支撑平台,即涂布负胶覆盖较下层结构,光刻开出通往较上一层的通道并使SU-8聚合、交联以满足性能要求.实验表明该工艺是可行和实用的.它除了可用于螺线管电感器的加工,还可以用来加工其它三维结构的MEMS器件.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蔡炳初	上海交通大学微纳米科学技术研究院信息存储研究中心	49	769	15.0	26.0
2	吴茂松	上海交通大学微纳米科学技术研究院信息存储研究中心	6	53	4.0	6.0
3	杨春生	上海交通大学微纳米科学技术研究院信息存储研究中心	33	314	10.0	16.0
4	茅昕辉	上海交通大学微纳米科学技术研究院信息存储研究中心	8	172	5.0	8.0
5	赵小林	上海交通大学微纳米科学技术研究院信息存储研究中心	56	549	13.0	20.0