基于线阵CCD的全息光栅位移自动测量系统的研制与开发

• 作者: 张忠民 李开端 许兆林 赵育良
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 线阵CCD 全息光栅 位移传感器
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 光学仪器与设计
• 页码范围: 204-206
• 页数: 3页
• 分类号: TN206
• 字数: 2819字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-1582.2002.03.014

摘要

提出了一种新型的基于线阵CCD的全息光栅位移传感器,该系统利用线阵CCD分辨率高、像素均匀等特点,对干涉条纹的移动进行精确定位,全息光栅在测量过程中具有不受光源波长的影响、适用光谱范围宽等特点,实现了位移的自动精确测量.给出了系统误差分析及结果数据,经实验,系统稳定可靠,精度高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李开端		40	236	9.0	13.0
2	赵育良		39	262	10.0	14.0
3	许兆林		27	179	8.0	12.0
4	张忠民		6	18	3.0	4.0