微细加工技术在微光开关制造中的应用

• 作者: 吴茂松 茅昕辉 蔡炳初 陈丹哗
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光开关 全光网络 微细加工技术 表面加工 体加工
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 71-75
• 页数: 5页
• 分类号: TM564
• 字数: 2879字
• 语种: 中文

摘要

微光开关是新一代全光通信网络中的关键器件.利用微细加工技术制造微光开关具有很多突出的优点,受到广泛的研究.总结了几种典型的微光开关制造中运用的微细加工技术,并介绍了它们的应用和相应的特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蔡炳初	上海交通大学微纳米科学技术研究院	49	769	15.0	26.0
2	吴茂松	上海交通大学微纳米科学技术研究院	6	53	4.0	6.0
3	茅昕辉	上海交通大学微纳米科学技术研究院	8	172	5.0	8.0
4	陈丹哗	东南大学机械工程系	1	3	1.0	1.0