声光调制器模型辨识及光功率控制系统设计

• 作者: 刘玉玲
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 声光调制器 数学模型 激光控制系统 激光直写系统 二元光学
• 年，卷（期）: 2002,（5）
• 所属期刊栏目: 跟踪与控制
• 页码范围: 12-14
• 页数: 3页
• 分类号: TN65
• 字数: 1755字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2002.05.004

摘要

保证激光直写系统中曝光光功率的稳定和连续可调对所制作的二元器件的性能具有重要意义.利用MABLAB工具对声光调制器的数学模型进行辨识,得到声光调制器的传递函数.并借助于MABLAB的SIMULINK工具箱,设计出控制系统的仿真模型,得到实用的控制系统.实验结果表明AR模型很好地反映了声光调制器的特性,所设计的控制系统响应速度快,控制精度高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘玉玲	浙江大学光电信息工程学系	41	331	9.0	17.0