Novillo托卡马克辉光放电等离子体化学中的电子能量研究

• 作者: GuillermoJ.Cruz 于蓉
• 来源期刊: 国外核聚变
• 学科: 工学
• 关键词: Novillo托卡马克 辉光放电 电子能量 朗缪尔探针 等离子体参数 等离子体化学
• 年，卷（期）: 2002,（6）
• 页码范围: 65-69
• 页数: 5页
• 分类号: TL631.24

摘要

本文给出了Novillo托卡马克辉光清洗放电氢等离子体中电子湿度，密度及等离子体电位的评估，目的是研究能从真空容器除去杂质，且避免仍能附着于其内壁上的其它化学化合物形成的等离子体条件。放电是在功能密度在100－900W.m^-2范围内，压强在0．07－0．2mbar范围内的情况下通过2个阳极和1个阴极完成的，等离子体参数是用朗缪尔探针得到的，结果表明：电子温度处于3－10eV范围内，电子密度约为10^8-10^9cm^-3和等离子体电位在10－18V范围内，对于在Novillo托卡马克中发现的大多数杂质，电子能量在离解能量范围内。