操纵原子束的激光系统研究

• 作者: 李展 罗先刚 陈元培 陈旭南
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 原子束 纳米加工 激光 准直系统
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 所属期刊栏目: 光子束技术
• 页码范围: 19-23
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.99
• 字数: 2205字
• 语种: 中文

摘要

重点分析了操纵原子束进行纳米结构加工中激光系统的设计特点,包括激光器件的选择、发射功率与激光波长等参数的确定.用其结论设计出了焦距193.3mm,F/#=1.9,λ=0.67μm的扩束准直光学系统和缩束倍率10×的缩束光学系统.研究结果表明,该系统可以通过控制原子实现纳米图形制作,并且具有使用方便、寿命长、成本低的优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈旭南	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	39	212	9.0	13.0
2	李展	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	21	187	8.0	13.0
3	罗先刚	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	52	315	9.0	15.0
4	陈元培	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	12	54	4.0	7.0