纳米级两维微位移工作台的参数测试

• 作者: 周自力 崔岩梅 曹航
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 两维微位移工作台 定位准确度 直线度 重复性
• 年，卷（期）: 2002,（5）
• 所属期刊栏目: 光学测量
• 页码范围: 447-448,451
• 页数: 3页
• 分类号: TH711
• 字数: 914字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-1582.2002.05.008

摘要

为了分析纳米级两维微位移工作台引入的测量误差,介绍了其机械结构及工作原理,进行了定位准确度实验和运动方向的直线度(偏摆)实验,实验结果表明,工作台的定位准确度较高,运动方向的直线度在工作台工作范围内无需修正,即可满足高精度测量的需要.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	崔岩梅		5	20	3.0	4.0
2	周自力		7	16	2.0	3.0
3	曹航		2	1	1.0	1.0