锂铁氧体表面沉积Cu-Ti复合金属波导膜系的工艺

• 作者: 刘炳坤 戴国钧 赵毅红 陈荣发
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 锂铁氧体 Cu-Ti复合金属波导膜系 工艺
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 热点追踪
• 页码范围: 5-7
• 页数: 3页
• 分类号: TB43
• 字数: 2789字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2002.01.002

摘要

采用磁控溅射镀膜方法,在锂铁氧体材料表面,制备了Cu-Ti复合金属波导膜系.本文简单介绍了设备的改造特点,对整个工艺过程进行了分析研究,对制备的Cu-Ti复合金属波导膜系进行了性能测试,结果表明,用该工艺所制备的波导膜系性能指标达到微波器件的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈荣发		51	260	8.0	13.0
2	戴国钧		10	32	2.0	5.0
3	赵毅红		27	84	5.0	8.0
4	刘炳坤		2	7	2.0	2.0