高纯水与紫外线杀菌技术

• 作者: 沈健
• 来源期刊: 洁净与空调技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电子工厂 高纯水 紫外线杀菌技术
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 专题研讨
• 页码范围: 17-20
• 页数: 4页
• 分类号: TS2
• 字数: 2747字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-3298.2002.03.004

摘要

紫外线杀菌装置在电子工业高纯水制造工艺中得到广泛应用.本文对紫外线杀菌原理、杀菌效果的影响因素、杀菌装置的构造等方面进行了讨论,并介绍了近年来开发的箱内浸水式杀菌装置.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈健		20	39	4.0	5.0