埋入式无线MEMS应变片系数的标定

• 作者: Chuck Hautamaki S.C.Mantell Tae Song Kim 周嘉 曹莉 黄宜平
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 标定 埋入式应变片 MEMS 应变片系数
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 页码范围: 113-116
• 页数: 4页
• 分类号: TP212|TN4
• 字数: 2843字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2002.02.001

摘要

本文研究了一种埋入式MEMS(微电子机械系统)无线应变片性能的实验标定方法.通过引入一个当量应变片,遵照标准应变片的标定规定,本文设计了实用有效的实验标定步骤.分别对标准应变片和MEMS试样进行完全相同的拉伸实验,从而得到埋入MEMS应变片的应变片系数(灵敏度)为13,同时获得在实验试样的制作条件下,测量应变与实际应变之比为2.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄宜平	复旦大学微电子学系专用集成电路与国家重点实验室	39	270	10.0	14.0