有机改性硅酸盐材料微光学元件制备研究

• 作者: 吴海鹰 方敬忠
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微光学元件 有机改性硅酸盐 溶胶凝胶方法 复制
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 集成光学与波导光学
• 页码范围: 15-18
• 页数: 4页
• 分类号: TN256
• 字数: 2988字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2002.01.005

摘要

通过溶胶-凝胶方法,利用有机硅烷(GLYMO)和正硅酸乙酯(TEOS)复合,制备出有机改性硅酸盐材料(ORMOSILS).该材料适合复制微光学元件,凝胶网络组成分析和相分离研究表明TEOS的预水解对材料性能的重要性.柱面透镜复制结果显示,复制的微光学元件基本保持母版的周期,纵向复制相对误差10%.ORMOSILS突破纯溶胶-凝胶的膜厚极限,避免凝胶干燥收缩引起尺寸的偏差.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	方敬忠	中国科学院光电技术研究所	11	48	3.0	6.0
2	吴海鹰	中国科学院光电技术研究所	6	12	2.0	3.0