改进溶胶-凝胶法制备PZT5O/5O铁电薄膜

• 作者: 于剑 孙兰 孟祥建 李刚 王根水 褚君浩 赖珍荃 路庆华 郭少令
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 物理学
• 关键词: 溶胶-凝胶法 前驱体 PZT50/50 铁电薄膜
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 63-64
• 页数: 2页
• 分类号: O484.1
• 字数: 1497字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2002.01.021

摘要

采用改进的溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了PZT50/50铁电薄膜-用X射线衍射表征了薄膜的物相,用原子力显微镜(AFM)表征薄膜的微观形貌,用RT-66A测量了薄膜的铁电特性,获得了具有优良的铁电性能的晶粒尺寸为100nm的PZT50/50铁电薄膜,在20V电压下,P,=31.83μC/Cm2.