CDT荫罩堵孔异物的X射线能谱分析

• 作者: 师琦 王宏伟 薛旭杰 詹光宇
• 来源期刊: 显示器件技术
• 学科: 工学
• 关键词: X射线能谱 扫描电子显微镜 CDT 荫罩 堵孔物 显示器件
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 页码范围: 31-33
• 页数: 3页
• 分类号: TN141

摘要

本文论述了利用扫描电子显微镜进行X射线能谱分析的原理，并对CDT制造过程中荫罩堵孔物特征X射线能谱图进行分析对比，明确堵孔物的成分及来源，为不良对策提供依据。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	詹光宇		1	0	0.0	0.0
2	师琦		1	0	0.0	0.0
3	薛旭杰		1	0	0.0	0.0
4	王宏伟		1	0	0.0	0.0