塑料微球厚有机涂层制备研究

• 作者: 吴卫东 张占文 张继成 罗江山 魏胜 黄勇
• 来源期刊: 原子能科学技术
• 关键词: CxH1-x薄膜 反式-2-丁烯 苯乙烯 沉积速率
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 页码范围: 343-347
• 页数: 5页
• 分类号: O484.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-6931.2002.04.015

摘要

采用低压等离子体化学气相沉积(LPP-CVD)并结合反弹盘方法在靶球表面涂敷厚的CxH1-x涂层.使用反式-2-丁烯为工作气体的沉积速率相对较慢,最高为1 μm/h,而使用苯乙烯时,沉积速率提高到3～4 μm/h.结合反弹盘技术,在塑料微球上涂敷了厚度为50～80 μm的CxH1-x涂层,涂敷薄膜的表面均方根粗糙度小于50 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴卫东	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	140	1087	18.0	26.0
2	张占文	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	80	531	12.0	16.0
3	魏胜	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	22	160	8.0	12.0
4	黄勇	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	38	270	9.0	15.0
5	罗江山	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	67	469	11.0	16.0
6	张继成	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	29	254	9.0	15.0